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半導體元件與薄膜技術的關係 - 社會議題

Barb Cronin avatarBarb Cronin · 2009-05-05

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誰能提供一些關於半導體元件（mos）與薄膜技術的關係或薄膜技術應用於半導體元件的一些相關資料？謝謝
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Andy avatarAndy2009-05-05
[PDF]3.1半導體概論2751k-AdobePDF-以html格式查閱...CVD在薄膜成積技術上的地位,日益的重要且顯著精密機械與製造技術研究所薄膜沈積的原理...大都局限在金屬薄膜的沈積上,舉凡所有半導體元件所需要的薄膜,不論是導體、半導體、或是介電材...me.ytit.edu.tw/machine_web/book/e-syhsia/A03.pdf51頁-59頁[PDF]金屬薄膜與製程