玻璃基板與薄膜間鍵結問題 - 社會議題

影響附著力的因素很多: 外在因素如玻璃清潔度 平坦度等 機台本身操作因素如真空度 氧氣量 溫度及蒸著速率 或是其他因素如玻璃是否乾燥未完全(基板含水氣)或是機台有漏油現象等都有可能
我們一般都會先去探討玻璃洗淨流程是否有遺漏?玻璃是否乾淨?玻璃是否新鮮(有無發霉)?再來就是玻璃洗淨烘乾後是否在室溫環境放置過久導致水氣附著?最後再確定機台是否有無漏油現象?
這些現象都是鍍膜前或鍍膜後可以判斷出來的
一般鍍膜完成後 鍍膜表面有霧化且脫膜都是屬於基板的問題比較多
若鍍膜表面很乾淨但會有大面積輕易脫膜 則是屬於機台漏油因素較多或是基板在洗淨時因為水質有油膜污染導致油膜已附著在玻璃表面所致
排除這些因素之後 逼不得已我們才會去修正鍍膜條件
我們假設以機台操作的方式來修正 第一個回答的對環境加熱是必須的
若您沒有購買離子助鍍設備 且先假設您真空度(極限真空)及氧量都是固定的前提下
最簡單的方式就是增加"蒸著速率",也就是加大EG的電流或縮小電子束的大小
但是增加蒸著速率會使蒸著角度變小
也就是說您所鍍出來的色差會變大,這個可以修正補正板來改善
我會建議您先以以下方式來修正
1.先試出哪種蒸著速率的附著力最強?
2.再以此蒸著速率反求出這個材質在這種環境的折射率
3.重新以這個折射率設計膜厚
4.試鍍並修正補正板
試試看 還有疑問可以再討論~~

目前業界使用的方法是，
1. 玻璃基板必須加熱。提高玻璃表面自由度。
2. 系統中另外加裝離子鎗。其目的有二，（1）利用離子鎗清除玻璃表面為汙染物；（2）利用離子助鍍的方式，提高氧化物粒子的動能，增加氧化物崁入玻璃表面的深度，以提高薄膜的附著力。
離子鎗除了可以增加薄膜附著力外，還可以增加氧化物薄膜的折射率。在做光學設計時，光學膜品質較佳。