科技業機台為何都用氮氣N2來破真空?! - 社會議題

氮氣在空氣中佔有大量比例，純化／壓縮等都比較容易，所以是工業中常用的氣體，即使純度高(5個N)也相較於Ar便宜許多，至於你說氧氣跟二氧化碳，老實說可能可以也可能不行，由化性來說，氮氣跟Ar比起那兩者相對穩定許多，而且氧氣有爆炸／易燃危險。
而且但氣比起氧氣或二氧化碳好壓縮，壓縮成液態運輸方便而且量較大，液體氣化後體積可以變大許多倍。
綜合以上，氮氣算是便宜／易取得／好用／穩定／易儲存的氣體。
2010-11-28 00:33:42 補充：
可能說的不是很完整，有想知道的可以再提出。
一般機台或是腔體，它都會希望水氣／灰塵等不要進入裡面造成污染，有的會在打開時通入氣體達到與外界壓力平衡，才能打開，又因為是從一定真空度升壓，所以又稱破真空。
通入氣體除了可以防止塵粒進入，也可維持正壓，讓水氣減少進入，同時趕除殘留氣體，水氣算是比較麻煩，因為它很容易沾附在腔璧，單靠幫浦抽氣要抽非常久才能去除。
類似的概念也用在實驗中的一種器材叫''真空乾燥器''，它有玻璃跟塑料材質，使用塑料其實密封性相對差許多，所以我會先用幫浦稍微抽一下後大量通入氮氣，讓空氣不要滲漏進去，利用壓力的平衡，即使不是一直維持在真空，也能讓盒內保持溼度在0-20%。

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