社會議題防止晶圓氧化辦法 - 社會議題Joseph · 2007-02-06Table of ContentsPostCommentsRelated Posts最近我父親開的晶圓測試廠，因環境影響，導致晶圓背面氧化、污染。加上附近新光合纖廠會釋放二氧化硫，導致整個無塵室都會有味道而氧化。 誰可以告訴我該怎處理？？社會議題All CommentsIngrid2007-02-08傳統無塵室只是過濾 particle. 由於循環換氣, 無塵室空氣內的化學藥品濃度反而容易高於外界氣體. 近年來, 這些現象對於產品的影響隨著產品越來越先進而漸漸被突顯出來.一般的解決方式是安裝化學濾網 (chemical filter).安裝chemical filter 不論污染源來自於無塵室內或外界 皆可以改善無塵室的空氣品質提供一篇工研院發表的文章以資參考http://www.e-safety.com.tw/1_main/103_learning/103...Susan2007-02-081.無塵室也會受污染,這真是太誇張了.2.建議使無塵室保持正壓 (即無塵室的內壓比外界大)3.導入的空氣以鹼吸收水塔, 再經酸塔(可略), 再經加壓壓力(乾燥) 進入無塵室.Related Posts想賣TOYOTAaltis1.8~~~~為什麼會下酸雨啊對人體有傷害嗎請問:這些的出處---是哪本書??關於溫室效應的一些問題想請問今年頗受爭議的學測社會科目有可能改答案或送分嗎?
· 2007-02-06 · 2007-02-06 · 2007-02-06 · 2007-02-06
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由於循環換氣, 無塵室空氣內的化學藥品濃度反而容易高於外界氣體. 近年來, 這些現象對於產品的影響隨著產品越來越先進而漸漸被突顯出來.
一般的解決方式是安裝化學濾網 (chemical filter).
安裝chemical filter 不論污染源來自於無塵室內或外界 皆可以改善無塵室的空氣品質
提供一篇工研院發表的文章以資參考
http://www.e-safety.com.tw/1_main/103_learning/103...
2.建議使無塵室保持正壓 (即無塵室的內壓比外界大)
3.導入的空氣以鹼吸收水塔, 再經酸塔(可略), 再經加壓壓力(乾燥)
進入無塵室.