離子佈值機,電子束焊機,放射性同位素靜電消除機? - 社會議題

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請問有誰知道,離子佈值機,電子束焊機,放射性同位素靜電消除機的作用機制及原理?或是哪本書有提到?

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Noah avatarNoah2011-06-11
離子佈植機是目前積體電路製造設備中最複雜、龐大的儀器,其技術為半導體元件製程中十分重要的。藉由離子佈植機,將預欲摻雜的原子或分子轉為帶電離子,並經由加速過程獲得能量植入晶片中,並停留在離晶體表面某一深度內,以達成改變材料物性的目的。  離子佈植機可精確控制濃度、摻雜�
Zanna avatarZanna2011-06-09
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