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關於ionizerbar的用途 - 社會議題

Blanche avatarBlanche · 2008-10-24

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我的2個朋友說法不同但都很專業的說明所以我不知道誰對或是2個都對A說:因為金屬機台可能表面帶有靜電灰塵會因為表面有正離子而吸附不容易被FFU(FANFILTERUNIT)去清除所以加這個去平衡B說本來就很乾淨的小空間如果加了ionizerbar那吹進的空氣可能反而會帶來灰塵的可能但卻是常常用到以上是2位的說法請
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Dinah avatarDinah2008-10-26
A的說法是正確的,但更進一步的,ionizer吹出來的離子風是為了避免基板帶有靜電,尤其是不導電的玻離基板等,靜電容易造成device擊穿的情況產生,因此在某些容易產生靜電的製程,如CVD&DRYETCH的製程,常會在loader/unloader裝上ionizer.B.的說法只是部份正確,ionizer本身不發塵,只要是所使用的CDA沒受到污染,基本上��